容量性圧力センサー

容量性圧力センサー容量を敏感な要素として使用して測定圧力を容量の変化に変換する圧力センサーです。この種類の圧力センサーは一般に、円形の金属膜または金属メッキフィルムをコンデンサの電極として使用します。 Circuit.Capacitive圧力センサーは、極距離変数容量センサーに属し、単一の容量圧力センサーと微分容量圧力センサーに分けることができます。

単一容量圧力センサーは、円形膜と固定電極で構成されます。フィルムは圧力下で変形し、コンデンサの能力を変化させます。感度は、領域と圧力にほぼ比例し、膜の張力に反比例し、膜から固定された電極までの膜からの距離があります。このタイプは低圧の測定に適しており、高圧容量を測定します。高圧を測定するための単一容量の圧力センサーは、ピストン移動極を備えたダイヤフラムで作ることもできます。また、アンチジャミング機能を改善するために、さまざまな補償および保護セクションとアンプ回路で統合的にパッケージ化されています。このセンサーは、動的な高圧の測定と航空機のテレメトリーに適しています。マイクの種類（つまりマイクタイプ）や聴診器タイプなどの単一容量圧力センサーの種類もあります。

微分容量圧力センサーの圧力受信ダイアフラム電極は、2つの固定電極の間に位置し、2つのコンデンサを形成します。圧力の作用の下で、1つのコンデンサの能力が増加し、他の測定結果は差動回路によって出力されます。ダイアフラムは、過負荷になったときに凹面の破裂から保護されます。微分容量圧力センサーは、単一の容量圧力センサーよりも高い感度と直線性が優れていますが、処理することはより困難です（特に対称性を確保することは困難です）。液体の性別または不純物。