圧力センサーは、圧力を測定するために鋼、化学物質、その他のフィールドで使用できる圧力センサーの一種であり、圧力レギュレータと一緒に使用すると自動圧力制御を実現できます。
拡散シリコン圧力センサー /原理の紹介
拡散シリコン圧力センサーは、単結晶シリコンウェーハ上の特徴的な結晶方向に沿って、ドーピングと拡散を通じて統合プロセス技術を使用して、株抵抗を形成して小麦橋を形成するためのピエゾレオス耐性効果の原理に基づいています。フォースセンシングと力電気変換の検出が製造されます。
拡散したシリコン圧力センサーの圧力は、センサー（ステンレス鋼またはセラミック）の横隔膜に直接作用し、ダイアフラムが培地の圧力に比例したマイクロ分散を生成し、センサーの抵抗値が変化します。電子回路はこの変更を検出し、変換します。この圧力に対応する標準測定信号は出力です。
拡散シリコン圧力センサー機能
1。小規模な送信機の製造に適しています
シリコンチップの力に敏感な抵抗器のピエゾレオスの効果は、ゼロポイント近くの低範囲にデッドゾーンがなく、圧力センサーの範囲は数KPAと同じくらい小さくなります。
2。高出力感度
シリコンひずみ抵抗の感度係数は、金属ひずみゲージの感度係数よりも50〜100倍高いため、対応するセンサーの感度は非常に高く、一般的な範囲出力は約100mVです。したがって、インターフェイス回路には特別な要件はなく、使用する方が便利です。
3。高精度
センサーのセンシング、高感度の変換、およびセンサーの検出は同じコンポーネントによって実現されるため、中間変換リンクはなく、再現性とヒステリシスエラーは小さいです。単結晶シリコン自体は高い剛性と小さな変形を持っているため、良好な直線性が確保されます。
4.作業の単一性変形はマイクロストレインのオーダーと同じくらい低いため、弾性チップの最大変位はサブミクロンの順にあります。
5.シリコンの優れた化学腐食耐性により、非分離拡散シリコン圧力センサーでさえ、さまざまな培地にかなり適応する能力があります。
6.チップは統合プロセスを採用し、伝送コンポーネントがないため、サイズが小さく、重量が軽量です。
拡散シリコン圧力センサーの使用予防策
1.オーバーレンジまたはアンダーレンジが選択されている場合、振幅は±30％FS以内に制御する必要があります。
2.圧力モードは、ゲージ圧力、絶対圧力、シーリング圧力に分割されます。これは、ニーズに応じて合理的に選択できます。
3.システムの最大過負荷を確立します。システムの最大オーバーロードは、センサーの過負荷保護制限よりも少ない必要があります。そうしないと、製品のサービス寿命に影響を与え、製品に損傷を与えます。
4.ハードオブジェクトでダイアフラムに触れないでください。そうしないと、ダイアフラムが破裂します。
5.負の圧力コアを製造する材料とプロセスは、陽圧と同じではないため、ネガティブ圧力コアをゲージ圧力コアに置き換えることはできません。
6.インストール前に取扱説明書を注意深く確認して、誤った設置による製品の損傷を避けてください。
7.輸送業者の使用は、危険と人身傷害につながる可能性があります。
8.コアはハウジングから引き出され、ワイヤーとチューブの脚を引っ張ることは禁止されています。
拡散シリコン圧力センサーアプリケーション
拡散シリコン圧力センサーは、主にプロセス制御システム、圧力校正機器、油圧システム、生物医学機器、油圧システムとバルブ、液体レベルの測定、冷凍装置、およびHVAC制御産業で使用されます。自動化が高いすべての産業は、拡散したシリコン圧力センサーを使用する可能性があると言えます。
投稿時間：Aug-15-2022