ピエゾレス圧力センサー

ピエゾレス圧力センサー主にピエゾヨーロ症効果に基づいています。ピエゾレオスの効果は、機械的応力下での材料の耐性の変化を記述するために使用されます。ピエゾ電気効果とは異なり、ピエゾロ抵抗効果は電荷ではなく、インピーダンスの変化のみを生み出します。

ほとんどの金属および半導体材料でピエゾロレジブ効果が発見されています。それらの中で、半導体材料のピエゾヨーロレス効果は金属のそれよりもはるかに大きくなります。シリコンは今日の統合回路の主力であり、シリコンが作られたピエゾレの要素の適用は非常に意味があります。 N型シリコンの抵抗変化は、主に3つの伝導帯域谷のペアの変位によって引き起こされる変位によって引き起こされる変位によって引き起こされるさまざまな機動性モビリティの伝導帯域の谷の再分布によるものです。伝導バンドValley.in P-Type Silicon、この現象はより複雑になり、同等の質量変化と穴の変換にもつながります。

ピエゾレオス症の圧力センサーは、一般に鉛を通るホイートストーンブリッジに接続されています。通常、敏感なコアには外部圧力はなく、ブリッジはバランスのとれた状態（ゼロ位置と呼ばれます）にあります。センサーが加圧されると、チップ抵抗が変化し、ブリッジがバランスを失います。一定の電流または電圧電源がブリッジに追加されると、ブリッジが圧力に対応する電圧信号を出力するため、センサーの抵抗の変化が圧力信号出力になります。電流信号は、非線形補正ループによって補償されます。つまり、線形対応する関係を持つ入力電圧を持つ4-20 mAの標準出力信号が生成されます。

コアの抵抗値に対する温度変化の影響を減らし、測定精度を改善するために、圧力センサーは温度補償測定を採用して、ゼロドリフト、感度、直線性、安定性などの高レベルの技術指標を維持します。