圧力センサーの圧力ヒステリシス

の重要なコンポーネントとして圧力送信機、センサーには、圧力送信機が測定タスクをうまく実行できるかどうかを判断できる3つの重要な指標があります。圧力ヒステリシス、圧力の再現性、安定性です。

各送信機は、工場を離れて指定された基準を満たすためにテストおよび調整する必要があり、センサーが工場を離れるときにいくつかのパフォーマンスを最適化する必要があり、圧力ヒステリシスはその1つです。

圧力ヒステリシスとは何ですか？

圧力送信機のキャリブレーションプロセス中に、圧力は分離ダイアフラムと圧力誘導チューブによって感知されます。入力量は統一されますが、実際の動作条件での圧力送信機の圧力荷重と降ろしの方向とサイズは、圧力送信機の電気信号出力の異なるサイズにつながります。順方向ストロークと逆ストロークにおける入出力特性曲線の不整合は、いわゆる圧力ヒステリシスです。

圧力のヒステリシスに影響する要因？

まず、拡散したシリコン圧力センサーのコンポーネントを見てみましょう！

拡散したシリコン圧力センサーは、拡散したシリコン圧力チップ、金属ベース、セラミック絶縁カバー、シリコンオイル、金属分離ダイヤフラムなどで構成されます。圧力が圧力センサーに作用すると、ダイアフラムやチップなどの材料がさまざまな程度に変形します。圧力が除去されると、変形が消えます。

ただし、元の状態に復元できるかどうかは、材料自体の特性、およびその処理方法、環境、その他の要因に依存します。したがって、同じ圧力点が入力されていても、出力は前方ストロークと逆ストロークに一致しません。

圧力ヒステリシスを計算する方法は？

ヒステリシス誤差のサイズは、一般に実験方法によって決定されます。圧力範囲内の複数のキャリブレーション圧力点で、圧力キャリブレーションポイントの正と負のストローク出力平均、最大平均差の絶対値、およびフルスケールの割合の差を比較します。これはヒステリシスエラーであり、ヒステリシスエラーはリターンエラーとも呼ばれます。

指定された温度環境では、テストされたセンサーの圧力が測定の上限まで上昇し、圧力が安定した後に圧力が低下し、ゼロポイントに戻ります。テストポイント、3〜3回繰り返して、キャリブレーションサイクルを増やして減少させます。

圧力ヒステリシスを最適化する方法は？

高性能シリコンピエゾレジ酸チップ、自動チップ結合機器を介して、完全なチップ結合、特別なダイアフラム老化プロセスを使用し、スタンプ後に分離ダイアフラムの内部ストレスを放出し、重要なプロセスのプロセスの一貫性を確保し、原材料の優れた性能により、圧力を緩和するための圧力衝撃のパフォーマンスを向上させます。