圧力センサーの温度ドリフトは何ですか

「暖かいドリフト」とは何ですか？

外部因子の干渉下では、センサーの出力は通常、入力とは無関係に不必要に変化します。この種の変化は「温度ドリフト」と呼ばれ、ドリフトは主に測定システムの感度要素によって引き起こされます。これは通常、外部温度、湿度、電磁干渉、センサーコンディショニング回路の干渉に対して脆弱です。今日説明する温度ドリフトは、主に温度変化によって引き起こされる半導体デバイスパラメーターの変化を指します。

なぜ圧力センサー温度補償されます

拡散したシリコン圧力センサーの場合、測定部位の温度変化によって引き起こされる拡散シリコン抵抗の変化は、ひずみを測定するときに拡散シリコン抵抗の変化とほぼ同じ桁であり、測定テストに一定の温度ドリフト誤差をもたらします。温度誤差の導入は、測定結果の精度、具体的には直接影響します。測定された培地の温度変化により、圧力センサーの静的作業点の出力電圧が変動します。したがって、温度補償が必要です。

「温度ドリフト」の現象を制御する方法は？

圧力センサーの温度ドリフトの場合、特定の理由に基づいて温度ドリフトを制御するための適切な補正方法を選択する必要があります。一般的に使用される方法は、主にハードウェア補償法とソフトウェア補償法に分けられます。マイクセンサーは、ハードウェア補償法を使用して、4つの拡散したシリコン抵抗器の初期値の不一致と、温度によって変化する温度ドリフトと、ホイートストーンブリッジを構成する4つの抵抗器間の対応するブリッジアームとの平行な接続によって変化する温度ドリフトのバランスをとります。